在真空狀態下，壓力越來越小，分子間間距越來越大，分子間力越來越小，亚洲精品乱码久久久久久蜜桃91清洗設備利用高頻源產生的高壓交變電場將氧、氬、氫、四氟化碳等工藝氣體震蕩成具有高反應活性或高能量的亚洲精品乱码久久久久久蜜桃91體，然後與有機汙染物及微顆粒汙染物反應或碰撞形成揮發性物質，然後由工作氣體流及真空泵將這些揮發性物質清除出去，從而達到表麵清潔、活化等目的。如圖所示：
真空室自動開關，一鍵式啟停，操作簡單方便
真空室內置張力控製係統，穩定材料漲縮，使處理更加平穩
高性能亚洲精品乱码久久久久久蜜桃91發生器，激發更為穩定之亚洲精品乱码久久久久久蜜桃91體
水平電極結構設計，更適合柔性材料
采用中通水冷電極，真正實現過程溫度控製，均衡均一
獨特的卷曲設計，解決卷式材料穿料問題，牽引材料更便捷
精確速度控製，精準控製速度的同時，實現恒張力恒速度
柔性材料的表麵清洗、表麵活化、表麵粗表麵刻蝕等
塑膠薄膜、金屬薄膜等水平卷式連續處理可繞折的卷材
型號 | RTR100L-W500 | |
控製係統 | 控製方式 | 全自動控製（自動/手動切換） |
PLC（標配）/PC（可選） | ||
操作係統 | Windows 10 | |
觸摸屏 | 7寸 | |
整機規格 | 尺寸 | W6900×D1650×H1150mm |
腔體 | 處理寬幅 | <520mm |
材質 | 鋁合金（標配）/不鏽鋼（可選），腔體3段式 | |
冰水機 | 通路 | 用於電源、電極、真空泵浦的冷卻 |
供電 | AC380V、3PH、50/60Hz、3KW | |
蝕刻能效 | 速率 | ≥0.5µm/Min |
均勻性 | ≥90% | |
真空計 | 薄膜矽電容耐腐蝕 | 1個，0-10Torr |
流量計 | MFC質量流量控製器 | 4個，量程0-2000ml/min |
真空泵 | 幹泵機組（螺杆泵+羅茨泵） | 1套，120m3/h+1800 m3/h；極限真空值≤50mTorr |
發生器 | 中頻 | 40KHz，20KW |
溫度控製係統 | 過程溫度控製 | 30-150℃恒定可控 |
張力控製係統 | 數顯張力 | - |
其它 | 工藝氣體：14MPa減壓至0.3MPa，O2=9.99%;Ar=99.99%;N2=99.99%;CF4=99.999% 氣體壓力：0.2MPa≤氣源≤1MPa；氣源壓力：0.3-0.8MPa；氣源純度：無油無水幹燥氣體；工作環境溫度：≤30℃；凍水流量：5 SLM；幹燥Air/N2流量：17 SLM | |
