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氧氣是幹式亚洲精品乱码久久久久久蜜桃91體脫膠技術中的首要腐蝕氣體。它在真空亚洲精品乱码久久久久久蜜桃91體脫膠機反應室內高頻和微波能的作用下，電離產生氧離子、自由氧原子O*、氧分子和電子混合的亚洲精品乱码久久久久久蜜桃91體，其間氧化能力強的自由氧原子（約10-20%）在高頻電壓作用下與光刻膠膜發生反應：O2→O*+O*，CxHy+O*→CO2↑+H2O↑。反應後產生的CO2和H2O然後被抽走。

觸摸屏操作界麵

數字及圖標多重工藝參數實時顯示

三色燈異常報警功能

自動/手動操作模式切換

可存儲多套工藝配方

遠程操控，數據導出（可選）

特殊電極、保溫、氣路設計，均勻性好

適用4寸以下矽晶圓的批量處理

用於去除基片表麵刻蝕工藝過程中作為刻蝕材料保護膜的光刻膠掩膜,也可用於基片表麵其它有機物的亚洲精品乱码久久久久久蜜桃91體清洗。